СибНСХБ

Вид поиска

Область поиска

Найдено в других БД

Формат представления найденных документов:
библиографическое описание	краткий	полный

Поисковый запрос: (<.>S=ЛАМПОВЫЙ ИСТОЧНИК ИЗЛУЧЕНИЯ<.>)

Общее количество найденных документов : 1

Патент 6031241 Соединенные Штаты Америки, МКИ G21G 4/00.

Silfvast, William T.
Capillary discharge extreme ultraviolet lamp source for EUV microlithography and other related applications [Текст] / William T. Silfvast, Mark A. Klosner, Gregory M. Shimkaveg ; University of Central Florida. - № 09/001696 ; Заявл. 31.12.1997 ; Опубл. 29.02.2000
Перевод заглавия: Капиллярный ламповый источник излучения в крайней ультрафиолетовой области для использования в микролитографии и в ряде других технических областей
Аннотация: Патентуются капиллярные плазменно-разрядные (с излучением в крайней ультрафиолетовой области) ламповые источники оптического излучения для использования в микролитографии, а также в микроскопии, интерферометрии, метрологии, в устройствах для научных исследований в биологии. Канал капиллярного элемента лампы имеет диаметр 0,5-3 мм и длину 0,5-10 мм. Концы трубочного элемента примыкают к электропроводящим деталям, между которыми происходит электрический разряд. Газообразная среда, находящаяся в канале, ионизируется, и ее электрическое сопротивление резко уменьшается, вследствие чего через канал начинает проходить непрерывный электрический ток (2000-10 000 А). Этот ток в свою очередь возбуждает газ или пар, и возникает излучение в диапазоне длин волн 11-14 нм. В качестве газообразного материала могут использоваться кислород или ксенон, или пары лития. Давление газа или пара в рабочем канале - 0,1-20 мм рт. ст. Возможно построение разрядных источников излучения такого рода с плотностями тока 250 000-1 300 000 А/см{2}. Ил. 10. Библ. 11

ГРНТИ	34.57.15

ВИНИТИ 341.57.15.99
Рубрики: АППАРАТУРА
ЛИТОГРАФИЯ
ЛАМПОВЫЙ ИСТОЧНИК ИЗЛУЧЕНИЯ
КАПИЛЛЯР
КРАЙНЯЯ УЛЬТРАФИОЛЕТОВАЯ ОБЛАСТЬ ИЗЛУЧЕНИЯ
МАТЕРИАЛЫ
КОНСТРУКЦИЯ

Доп.точки доступа:
Klosner, Mark A.; Shimkaveg, Gregory M.; University of Central Florida
Свободных экз. нет

"Электронные каталоги и базы данных библиотек СО РАН"

© Международная Ассоциация пользователей и разработчиков электронных библиотек и новых информационных технологий
(Ассоциация ЭБНИТ)

rtvarBDview(" результаты поиска","20190607010228","4682442");

Вид поиска